Microelectrónica
Código
7491
Unidade Orgânica
Faculdade de Ciências e Tecnologia
Departamento
Departamento de Ciências dos Materiais
Créditos
6.0
Total de horas
98
Língua de ensino
Português
Objectivos
A disciplina de Microelectrónica tem por objectivo dar a conhecer aos alunos os fundamentos teóricos e práticos dos materiais e processos utilizados na indústria de semicondutores e da microelectrónica, com especial incidência no fabrico de dispositivos e circuitos integrados.
Pretende-se assim que um Engenheiro ao utilizar um dispositivo ou um circuito integrado, para além de saber como é que ele funciona, saiba também como é que ele foi construído. Para além do Engenheiro ter a noção de como é que o dispositivo é feito, sabe ainda correlacionar as propriedades eléctricas e ópticas (caso se apliquem) com os parâmetros de fabrico, podendo tirar mais proveito das suas aplicações em circuitos e sistemas.
Para mais informações: http://disciplinas.dcm.fct.unl.pt/micro/
Conteúdo
Capítulo 1 - Perspectiva sobre os processos de Microelectrónica.
Capítulo 2 - Litografia.
Capítulo 3 - Crescimento de Monocristais.
Capítulo 4 - Óxidação Térmica.
Capítulo 5 - Difusão Térmica.
Capítulo 6 - Implantação Iónica.
Capítulo 7 - Deposição de Filmes Finos.
Capítulo 8 - Contactos e Interligações.
Capítulo 9 - Encapsulamento.
Bibliografia
Seguida
R.C. Jaeger, "Introduction to Microelectronic Fabrication" , AddisonWesley (1993).
Complementar
S. M. Sze, "VLSI Technology", McGraw-Hill, 1988.
W. R. Runyan, K. E. Bean, "Semiconductor Integrated Circuit Processing Technology", Mcgraw-Hill, 1994.
S. Mahajan, "Principles of growth and processing of semiconductors", McGraw-Hill, 1998.
C.Y. Chang, S.M. Sze, "ULSI technology", McGHraw-Hill, 1996.
S. Middleman, A. Hochberg, "Process engineering analysis in semiconductor device fabrication", McGraw-Hill, 1993.
S.M. Sze, "Semiconductor devices - Physics and technology", Wiley, 1985.
W. Ruska, "Microelectronic processing", McGraw-Hill, 1988.
S. Campbell, "The science and engineering of microelectronic fabrication", Oxford University Press, 1996.
H. Lee, "Fundamentals of microelectronics processing", McGraw-Hill, 1990.
S. Ghandhi, "VLSI fabrication principles - Second Edition", Wiley, 1994.
Método de avaliação
Sistema de avaliação em vigor na disciplina em 2011/2012:
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Testes (pesos relativos)
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- Parte teórica 50%
- Parte prática 50%
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Condições para dispensa de Exames
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- Nota de ambos os testes não inferior a 8 valores
- Média dos testes não inferior a 12 valores
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Frequência na Disciplina
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Nota igual ou superior a 10 valores no relatório final
É valida por um ano
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Nota Final
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50% média dos Testes* + 50% nota TPs (Dispensados)
ou
50% nota de Exame* + 50% nota TPs (exames)
(*) - Se esta nota for inferior a 9,5 valores então a nota final não entra em conta com os TPs.
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